以空氣為原料，通過壓縮循環(huán)深度冷凍的方法把空氣變成液態(tài)，再經(jīng)過精餾而從液態(tài)空氣中逐步分離生產(chǎn)出氧氣、氮氣及氬氣等惰性氣體的設(shè)備被稱為空分設(shè)備。
其工藝流程為中壓帶透平膨脹機的克勞特循環(huán)。空氣從大氣中吸入空壓機，被壓縮到所需的壓力，再經(jīng)末級冷卻器冷卻后進入氟里昂預冷機組，被冷卻至5℃左右進入純化器，在其中除去水份、二氧化碳、碳氫化合物等物質(zhì)，進入分餾塔。經(jīng)純化后的壓縮空氣進入分餾塔的主換熱器（上），與主換熱器（下）來的氧、氮及餾份氣進行熱交換后經(jīng)節(jié)流閥與膨脹機出來的冷空氣會合于下塔底部的蒸發(fā)器，在下塔進行傳熱、傳質(zhì)過程。液空在下塔預分后，再節(jié)流到上塔進一步分餾，在塔頂?shù)玫郊兊獨?，上塔中部抽出之餾份氣經(jīng)上換熱器回收冷量后作為純化器再生吹冷用，產(chǎn)品純氮氣通過管道輸往用戶。產(chǎn)品氧氣在輸氧管路旁接水封器后導入貯氣囊通往氧壓機。
現(xiàn)代空分設(shè)備能生產(chǎn)各種容量、不同純度的氣態(tài)或液態(tài)產(chǎn)品，也能制造超高純度的氧和氮（如含氧99.998%和含氮99.9995%）空分設(shè)備還能根據(jù)用戶的需要，通過電子計算機的控制，隨時增減產(chǎn)品的數(shù)量，達到經(jīng)濟用氧的目的。
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